반도체 이온주입 공정 관련 국내 기업

이온주입 공정은 부도체인 실리콘 웨이퍼에 불순물을 주입해서 반도체적인 전기적 성질를 부여하는 공정입니다. 인(P), 비소(As), 붕소(B) 등의 원소를 이온화 해서 고 에너지 이온 빔으로 가속화 시켜 웨이퍼에 주입한 후 고온 열처리를 하여 웨이퍼 내부로 확산 시키는 방법으로 진행합니다.

반도체 이온주입 공정

국내 기업 중에 반도체 이온주입 공정 관련 사업을 하고 있는 기업은 다른 공정들에 비해 상대적으로 많지 않습니다. 다음은 반도체 이온주입 공정관련 사업을 하고 있는 국내 기업들입니다.

이온주입 공정 장비 관련 기업

기업명	관련 제품	기업 개요
이오테크닉스	- Annealing(열처리) 장비	- 신제품 개발을 위해 기술연구소를 설립. 동사는 2000년 8월 24일 코스닥시장에 상장함. - 해외시장개척을 위해 필리핀지사와 싱가포르, 미국, 대만, 중국에 현지법인을 설립. - 동사의 주요 영업국가로는 한국을 포함해 미국, 중국, 일본, 필리핀, 대만, 싱가폴, 베트남, 말레이지아, 태국, 인도네시아, 홍콩, 브라질등이 있으며, 당사장비의 안정성과 기술력을 인정받고 있음.

이온주입 공정 재료 관련 기업

기업명	관련 제품	기업 개요
원익머트리얼즈	- Implant 공정용 특수가스 - Doping 공정용 특수가스 - Diffusion 공정용 특수가스	- 2006년 12월 1일을 기준 원익홀딩스의 특수가스사업부문을 물적분할 설립함. - 지배대상기업은 반도체용 특수가스, 일반산업용 가스 및 전구체(프리커서)의 충전, 제조, 정제 및 판매 등을 영위하고 있음. - 동사가 영위하는 전자재료용 특수가스의 수요분야는 삼성전자 및 SK하이닉스 등의 종합반도체 회사를 중심으로, 삼성디스플레이, 동우화인켐 등 디스플레이 및 LED 제조회사로 분류할 수 있음.
램테크놀러지	- SiO2	- 동사는 2001년 10월에 설립되어, 반도체용 식각액, 박리액 및 기타 IT 분야 화학소재 등 전방 산업별 핵심 공정 중 사용되는 프로세스 케미컬 제조사업을 주력으로 하고 있음. - 반도체를 시작으로 디스플레이, LCD, OLED, 2차전지, 태양전지 분야 화학 약품 공급으로 사업을 확장해 왔으며, SK하이닉스, 삼성SDI, 매그나칩, ELK 등 고객사에 공급함. - 매출구성은 식각액 40%, HYCL폼이 21%로 이루어져 있음.

이온주입 공정 부품 관련 기업

기업명	관련 제품	기업 개요
원익QnC	- Quartz Tube류 - Quartz Boat류 - Quartz Pedestal류 - Quartz SWP	- 반도체 및 디스플레이 제조에 사용되는 석영제품(쿼츠)와 산업용 세라믹을 제조하는 업체로 2003년 11월 원익으로부터 기업분할로 설립됨. - 반도체용 석영유리(QUARTZ WARE)는 반도체 제조공정 중 산화, 식각, 이온주입, 화학증착공정에서 Wafer를 불순물로 부터 보호하거나 이송하는 용기로 사용됨. - 삼성전자, 하이닉스반도체, 페어차일드코리아, 실트론, 매그나칩반도체, 동부하이텍 등과 계약 체결, 수주물량을 받고 있음.