반도체 식각 공정 관련 국내 기업

식각공정은 노광 공정을 통해 웨이퍼에 각인된 회로 패턴 중에 필요한 부분만 남기고 불필요한 부분을 깎아 내는 공정입니다. 먼저 감광액이 없는 부분의 산화막을 깎아내고, 최종적으로는 감광액을 제거해서 회로 패턴의 산화막만 남도록 합니다. 이때 99.999% 이상의 고순도의 불화수소(HF)가 사용됩니다. 반도체 공정에서 가장 까다로운 공정으로 얼마나 얇고 깊게 깍아 낼 수 있는 지가 반도체 회사의 기술력을 판가름하는 중요한 기준이 되기도 합니다.

반도체 식각 공정

식각 방식은 습식 식각 방식과 건식 식각 방식이 있습니다. 반도체 제조 공정이 미세화 되면서 최근에는 건식 식각 방식이 대부분 사용되고 있습니다. 두 식각 방식의 특징은 다음과 같습니다.

 

습식 식각(Wet Etching)	건식 식각(Dry Etching)
용액의 화학적 반응을 통해 식각	기체.이온의 물리적/화학적 반응을 통해 식각
저비용	고비용
단순한 공정	복잡한 공정
빠른 속도	느린 속도
낮은 정밀도	높은 정밀도

식각 공정 장비 관련 기업

다음은 반도체 식각 공정에 사용하는 장비 관련 사업을 하고 있는 국내 기업들입니다.

 

기업명	관련 제품	기업 개요
피에스케이	- NHM Strip	- 동사는 피에스케이홀딩스에서 전공정 장비 부분 분리 설립한 반도체 장비 회사 - PR Strip 장비 글로벌 1위. 시장 점유율 2019년 기준 약 25% 수준. - 삼성전자, SK하이닉스 등 국내외 글로벌 업체들을 고객사로 확보 - 램리서치(미국), Mattson Tech(중국), 히타치(일본) 등과 경쟁 - 매출구성은 반도체 공정장비류 외 73.87%, 기타 26.13%
주성엔지니어링	- 건식 식각 장비	- 동사는 1993년 4월 13일에 설립되어 1999년 12월 22일에 주식을 코스닥에 상장한 상장회사임. 반도체 제조장비, 디스플레이 제조장비 사업을 영위하고 있음. - 동사의 단일 사업부문은 생산되는 제품을 산업 및 고객, 제조공정의 특징 등을 고려하여 총 3개의 부문으로 나누어 그 현황을 기재하고 있음. - 동사가 영위하고 있는 사업인 디스플레이 장비산업은 전방산업인 디스플레이 산업에절대적인 영향을 받고 있음.
기가레인	- LED Etcher - Drie Etcher - ICP Etcher - Nano Imprinter	- 동사와 연결기업의 사업부문은 RF통신 사업, 반도체 장비 사업, 중고 반도체 장비 사업으로 구분. - 반도체 장비 사업부문은 LED공정에 사용되는 ICP 식각장비, Micro/Nano LED 및 Display 공정에 사용되는 나노 임프린터, 그리고 반도체 공정에 사용되는 DRIE 식각장비 사업을 수행. - RF 통신 사업부문은 국내외 고객을 위한 5G 이동통신용 기지국 안테나 및 RF 커넥터의 제조 시설을 구축을 완료하고 양산 공급중.
에이피티씨	- Poly Etcher - Metal Etcher	- 동사는 반도체 제조 공정 중 식각 공정에 필요한 장비를 제조, 판매하고 있으며 주력 제품은 300mm 실리콘 식각 장비(Poly Etcher)등이 있음. - 동사가 보유한 적응결합형 플라즈마 소스는 현재 200mm와 300mm 웨이퍼용 반도체 건식 식각 장비의 원천 기술에 적용됨. - 동사의 원천 기술은 반도제 화학 기상 증착(CVD)와 LCD와 LED, 태양광 제조용 식각장비, 에싱(Asher) 장비에 적용 가능함.
테스	- Dry Etch 장비	- 동사는 반도체 제조에 필요한 전공정 장비(PECVD, LPCVD, Gas Phase Etch&Cleaning 등)의 제조를 주된 사업으로 영위함. - 2013년 반도체 전공정 장비인 LPCVD와 PECVD의 양산에 성공하였고, 비정질탄소막을 증착하여 신규 PECVD는 반도체 3D NAND 공정에 적용함. - 주요 매출 구성은 반도체 장비(PECVD,GPE)와 디스플레이 장비(UVC LED 장비 등)으로 88.11% 이루어짐.
예스티	- THC	- 동사는 2000년 3월 주식회사 영인테크로 설립되어, 2006년 1월 상호를 예스티로 변경하였으며, 반도체 및 디스플레이 장비, 반도체 부품을 제조하는 기업임. - 반도체용 열처리 장비를 개발을 시작으로 고온용 열처리 장비 개발을 완료 및 2010년 삼성디스플레이에 장비 공급을 시작으로 디스플레이 사업에 진출함. - 주요 매출 비중은 환경안전 34.69%, 반도체장비 31.88%, 디스플레이장비 16.06% 로 구성됨.
쎄미시스코	- Smart-EPD	- 동사는 2000년 반도체 및 평판 디스플레이 공정장비 제조업 등을 목적으로 설립했으며, 반도체, 디스플레이 생산과정에서 사용하는 플라즈마 진단장비, 유리기판 검사장비를 생산하고 있음. - 플라즈마 진단장비의 경우 높은 점유율을 유지하고 있으며, 동 제품과 관련된 기술에 대한 특허를 보유하고 있어 후발업체의 진입 장벽은 높음. - 매출은 전기차사업부 59.98%, 반도체/디스플레이 40.02% 등으로 이루어져 있음.
코디엠	- Etching 장비	- 동사는 1999년 7월 설립되어 반도체 장비, LCD 장비 및 유기발광다이오드 장비의 제조 및 판매 등을 영위함. - 동사의 주력 제품인 반도체, 디스플레이 장비의 경우 주로 삼성전자의 자회사인 세메스와 삼성디스플레이에 판매하고 있으며, 파이프라인 발굴과 바이오 플랫폼 구축을 신규 사업으로 계획. - 매출구성은 반도체 85.56%, 기타(단열재 등) 14.44%로 이루어져 있음.

식각 공정 재료 관련 기업

다음은 반도체 식각 공정에 사용하는 재료 관련 사업을 하고 있는 국내 기업들입니다.

 

기업명	관련 제품	기업 개요
오션브릿지	- CF4, HBr	- 2012년 3월에 설립되어, 반도체 공정용 화학재료와 반도체 FAB 설비 장비 생산 및 반도체 제조 공정용 화학제품을 생산하며 공급함. - 주력 제품으로는 HCDS(절연막)와 TiCl4(축전지, 전극물질) 등 케미칼 소재와 특수가스 (Si2H6, CF4, HBr, GeH4) 보유하고 있으며, 주 고객사는 SK하이닉스임. - 반도체 증착공정에 적용되는 HCDS와 Low-K 프리커서, 특수가스인 디실란(Si2H6)을 제조함.
네패스	- Metal Etchant	- 동사는 반도체 및 전자관련 부품, 전자재료 및 화학제품 제조, 판매를 영위할 목적으로 1990년 12월 27일에 설립된 이후, 1999년 12월 14일 코스닥시장에 상장됨. - 동사는 반도체 및 전자관련 부품, 재료 및 화학제품 제조, 판매업을 함. - 동사의 사업분야는 시스템 반도체 첨단 공정(WLP, FOWLP/PLP) 서비스가 주력인 반도체사업과 전자재료사업으로 구분됨.
SK머티리얼즈	- 식각용 가스	- 동사는 1982년 11월에 대백물산 주식회사로 설립되어 1998년 상호를 대백신소재로 변경하였고, 1999년 12월 코스닥시장에 상장된 후 세 차례의 상호 변경 후 SK머티리얼즈가 됨. - 동사는 반도체, 디스플레이, 태양광 전지 제조 공정에 사용하는 특수가스(NF3, WF6, SiH4 등)의 제조, 판매를 주요 사업으로 하고 있음. - 주요종속회사인 SK에어가스(주)는 산업용, 의료용 가스 등의 제조, 판매하고있음.
후성	- C4F6, CH2F2, CHF3	- 동사는 2006년 11월 23일에 설립되었으며, 2006년 12월 22일 한국거래소 유가증권시장에 상장됨. - 동사는 냉매가스, 반도체용 특수가스, 2차전지 전해질 소재 'LiPF6' 를 국내에서 유일하게 전문적으로 제조, 판매하는 업체이며, 국내 및 해외 법인을 통해 해당 사업을 영위함. - 동사는 '후성폴란드유한회사'를 신규연결 하여 총 4개의 연결대상 종속회사를 가지고 있음. 동사는 기업집단 '후성그룹'에 속해 있는 기업임.
이엔에프테크놀로지	- Ethant(50% HF, BOE, HSN)	- 2009년 5월 28일 코스닥시장에 신규상장함. - 동사는 국내 포토레지스트용 핵심원료를 생산하는 기업이며, 삼성전자 등 주요 반도체 제조사의 포토레지스트의 사용량 증가에 따라 핵심원료의 시장규모도 대폭 확대되고 있음. - 동사는 2010년 6월에 중국 진출을 목적으로 홍콩에 ENF China Holdings(지분율 90.00%)를 설립했음. 2018년 6월 미국 진출을 위해 ENF USA HOLDINGS(지분율 100%)을 설립함.
원익머트리얼즈	- Etching 공정용 특수가스	- 2006년 12월 1일을 기준 원익홀딩스의 특수가스사업부문을 물적분할 설립함. - 지배대상기업은 반도체용 특수가스, 일반산업용 가스 및 전구체(프리커서)의 충전, 제조, 정제 및 판매 등을 영위하고 있음. - 동사가 영위하는 전자재료용 특수가스의 수요분야는 삼성전자 및 SK하이닉스 등의 종합반도체 회사를 중심으로, 삼성디스플레이, 동우화인켐 등 디스플레이 및 LED 제조회사로 분류할 수 있음.
엘티씨	- Polymer Remover	- 동사는 2007년 11월 23일에 설립되었으며, 2013년 10월 8일 한국거래소 코스닥시장에 주식을 상장함. - 동사는 디스플레이나 반도체 제조 공정에 사용되는 공정소재(Process Chemical) 중 하나인 박리액 개발 및 제조를 주력사업으로 진행하고 있음. - 신규로 추진하고자 하는 사업은 유기 소재 및 나노 세라믹 소재 개발, 판매로 이를 양산하는 연구개발을 진행 중임.
램테크놀러지	- BOE   (Buffered Oxide Etchant) - Nitride Strip : H3PO4 - Cu Stripper	- 동사는 2001년 10월에 설립되어, 반도체용 식각액, 박리액 및 기타 IT 분야 화학소재 등 전방 산업별 핵심 공정 중 사용되는 프로세스 케미컬 제조사업을 주력으로 하고 있음. - 반도체를 시작으로 디스플레이, LCD, OLED, 2차전지, 태양전지 분야 화학 약품 공급으로 사업을 확장해 왔으며, SK하이닉스, 삼성SDI, 매그나칩, ELK 등 고객사에 공급함. - 매출구성은 식각액 40%, HYCL폼이 21%로 이루어져 있음.
천보	- Oxalic acid dihydrate	- 동사는 2007년 10월 8일에 설립되었으며, 전자소재, 이차전지 전해질 등의 개발, 제조 및 판매를 주요사업으로 하고 있음. - 동사의 사업분야는 크게 전자소재(LCD식각액첨가제, OLED소재, 반도체공정 소재 등), 2차전지 소재(전해질, 전해액첨가제), 의약품 소재(의약품중간체), 정밀화학 소재임. - OLED 부문에서 동사는 3원색 중 적색(R) 발광재료 등의 중간체 및 완제품을 생산하고 있음.
솔브레인	- HSN/H3PO4, Poly/PAN/SPIN etchant, S-2, HNPA-1317, FMA-2P, HF/BOE	- 동사는 인적분할로 설립된 신설회사로 2020년 8월 재상장하였으며 분할 전 회사인 솔브레인홀딩스의 사업 중 반도체 및 전자 관련 화학재료 제조 및 판매 사업부문을 영위하고 있음. - 삼성전자, SK하이닉스, LG디스플레이 등 국내 반도체 및 디스플레이 제조사에 공정용 화학 재료 등을 안정적으로 공급. - 해외시장 진출을 위하여 중국에 반도체 공정재료 생산 및 판매를 위한 현지법인인 솔브레인(시안)전자재료유한공사 설립함.

식각 공정 부품 관련 기업

다음은 반도체 식각 공정에서 사용하는 부품 관련 사업을 하고 있는 국내 기업들입니다.

 

기업명	관련 제품	기업 개요
하나머티리얼즈	- Silicon : Silicon Ingot, Electrode, Ring - SiC : CVD-SiC Bulk - AIN(Aluminum Nitride), Al2O3(Aluminum Oxide)	- 동사는 2007년 설립되어, 실리콘 및 실리콘카바이드(SiC) 소재의 일렉트로드와 링 제조 및 판매를 주요 사업으로 영위함. - 동사의 주요 제품은 반도체 제조공정 중 에칭공정에 사용되는 핵심부품인 실리콘 소재의 일렉트로드와 링 등으로 반도체 칩 생산의 수율과 제품의 성능을 결정하는 고부가가치 부품임. - 실리콘부품 위주의 사업구조에서 사업 및 제품 포트폴리오를 다각화하고자 실리콘카바이드사업(SiC)을 추진하고 있음.
원익QnC	- Quartz : Shield Ring, Focus Ring, Shadow Ring, Wap Ring, Twist Lock 등 - Ceramic : SiC Edge Ring, Capture Ring	- 반도체 및 디스플레이 제조에 사용되는 석영제품(쿼츠)와 산업용 세라믹을 제조하는 업체로 2003년 11월 원익으로부터 기업분할로 설립됨. - 반도체용 석영유리(QUARTZ WARE)는 반도체 제조공정 중 산화, 식각, 이온주입, 화학증착공정에서 Wafer를 불순물로 부터 보호하거나 이송하는 용기로 사용됨. - 삼성전자, 하이닉스반도체, 페어차일드코리아, 실트론, 매그나칩반도체, 동부하이텍 등과 계약 체결, 수주물량을 받고 있음.
하나마이크론	- Electrode, Focus Ring	- 동사는 2001년 8월 23일에 설립되어 2005년 10월 11일에 주식을 코스닥시장에 상장함. - 동사의 경영진은 재무제표를 승인하는 시점에 연결실체가 예측가능한 미래기간 동안 계속기업으로서 존속할 수 있는 충분한 자원을 보유한다는 합리적인 기대를 가지고 있음. - 반도체 산업의 BACK-END 분야인 반도체 조립 및 TEST 제품을 주력으로 생산하고 있으며 업계선두의 반도체 패키징 기술을 보유하고 있음.
케이엔제이	- SiC Focus Ring	- 동사는 2005년 회사 설립 이후 디스플레이 제조용 장비인 Edge Grinder(엣지그라인더)와 검사장비를 개발 생산해 왔음. - 2010년 신규사업으로 CVD-SiC(탄화규소) 제품군 분야에 진출 후 LED제조용 SiC 코팅제품 및 반도체 웨이퍼 에칭공정용 소모품인 SiC Focus Ring 등을 생산/공급해옴. - 동사의 제품은 국내외 디스플레이 메이커를 주 고객으로 하며 최종 소비재인 TV, 노트북, 스마트폰 등에 적용이 가능함.
월덱스	- Silicon : Electrode, Shower Head, Cel Inner, Ring - Quartz : Ring - Fine Ceramics : Sapphire, YAS, Silicon Pad - SiC : Ring	- 동사는 반도체 에칭 공정에 사용되는 반도체용 실리콘 전극과 링을 제조 판매 전문회사로 성장하며 이를 바탕으로 파인세라믹부분으로 사업 범위를 확대함. - 종속회사인 WCQ를 적극 활용하여 고객과 밀접한 관계를 통해 직납 비중 규모 확대와 해외 시장 개척을 통해 국내 뿐 아니라 수출 비중을 확대하고 있음. - 매출비중은 실리콘 57.1%, 쿼츠 외 42.9%로 실리콘 비중 소폭 증가하는 추세.