반도체 증착 공정 관련 국내 기업

1마이크로미터(μm) 이하의 얇은 막을 박막(thin film)이라고 하는 데, 이 박막을 입히는 공정을 증착(Deposition)이라고 합니다. 일반적으로 반도체는 여러 겹의 회로 층(layer)으로 이루어 집니다. 박막은 이러한 회로 층간에 반복적으로 존재하며, 각 박막은 회로 층간을 연결하거나 또는 반대로 분리하는 역할을 하게 됩니다. 층과 층사이 전기 신호를 연결해 주는 역할을 하는 박막을 전도막(금속막)이라 하고, 층과 층 사이를 분리하는 역할을 하는 박막을 절연막이라 합니다.

반도체 증착 공정

박막을 증창 방법에 따라 물리적 기상증착법(PVD, Physical Vapor Deposition)과 화학적 기상증착법(CVD, Chemical Vapor Deposition)으로 나눕니다.  각 증착 방법은 특장점이 있지만, 반도체 공정에서는 화학적 기상증착법(CVD)이 주로 사용됩니다.

 

	물리적 기상증착법(PVD)	화학적 기상증착법(CVD)
특징	- 물리적인 힘에 의해 박막 증착 - 주로 금속 박막 증착에 사용	- 반응기체의 화학적 반응에 의해 박막 증착 - 도체, 부도체, 반도체 등 모두 사용 가능
장점	- 저온공정, 안정적 - 고품질 박막에 유리 - 불순물 오염정도가 낮음(진공상태)	- 박막 접합성 좋음 - 비교적 저렴한 장비 - 박막 품질 및 도포성 우수
단점	- 박막 접합성 나쁨 - 고가의 장비 필요	- 고온공정이기 때문에 소재 제한 - 불순물 오염 정도 높음

반도체 제조사들이 동일한 면적에 최대한 많은 회로층이 집적되도록 하기 위한 경쟁을 하고 있기 때문에, 얼마나 얇고 균일한 박막을 증착할 수 있느냐는 반도체 제조 공정에서 중요한 기술 중의 하나입니다. 

증착 공정 장비 관련 기업

다음은 반도체 증착 공정에서 사용하는 장비 관련 사업을 하고 있는 국내 기업들입니다.

 

기업명	관련 제품	기업 개요
주성엔지니어링	- CVD 증착 장비	- 동사는 1993년 4월 13일에 설립되어 1999년 12월 22일에 주식을 코스닥에 상장한 상장회사임. 반도체 제조장비, 디스플레이 제조장비 사업을 영위하고 있음. - 동사의 단일 사업부문은 생산되는 제품을 산업 및 고객, 제조공정의 특징 등을 고려하여 총 3개의 부문으로 나누어 그 현황을 기재하고 있음. - 동사가 영위하고 있는 사업인 디스플레이 장비산업은 전방산업인 디스플레이 산업에절대적인 영향을 받고 있음.
유진테크	- LPCVD 증착 장비 - Plasma 증착 장비 - ALD 증착 장비	- 동사는 반도체 박막을 형성하는 전공정 프로세스 장비를 개발, 생산하는 반도체 전공정 장비 업체로서 2006년 코스닥시장에 상장함. - 반도체용 산업가스 충전, 제조 정제 및 판매를 사업으로 하는 유진테크머티리얼즈를 종속회사로 두고 있음. 삼성전자, SK하이닉스, 마이크론 등 유수의 글로벌 반도체 회사들과 제조장비 공급계약을 체결함. - 매출 구성은 LPCVD 장비 외 91.89%, 상품 및 기타 4.81% 등으로 이루어짐.
테스	- PECVD 증착 장비 - LPCVD 증착 장비	- 동사는 반도체 제조에 필요한 전공정 장비(PECVD, LPCVD, Gas Phase Etch&Cleaning 등)의 제조를 주된 사업으로 영위함. - 2013년 반도체 전공정 장비인 LPCVD와 PECVD의 양산에 성공하였고, 비정질탄소막을 증착하여 신규 PECVD는 반도체 3D NAND 공정에 적용함. - 주요 매출 구성은 반도체 장비(PECVD,GPE)와 디스플레이 장비(UVC LED 장비 등)으로 88.11% 이루어짐.
쎄미시스코	- Smart-HMS	- 동사는 2000년 반도체 및 평판 디스플레이 공정장비 제조업 등을 목적으로 설립했으며, 반도체, 디스플레이 생산과정에서 사용하는 플라즈마 진단장비, 유리기판 검사장비를 생산하고 있음. - 플라즈마 진단장비의 경우 높은 점유율을 유지하고 있으며, 동 제품과 관련된 기술에 대한 특허를 보유하고 있어 후발업체의 진입 장벽은 높음. - 매출은 전기차사업부 59.98%, 반도체/디스플레이 40.02% 등으로 이루어져 있음.
러셀	- 중고 반도체 증착장비 개조/업그레이드 재판매	- 동사는 2006년 3월 설립되어, 반도체장비 제조 및 판매와 생산 자동화 장비 제조 및 판매 등을 영위하고 있음. - 중고 반도체 증착 장비를 고객의 요구에 맞게 개조, 업그레이드하여 재판매하는 Refurbishment & Retrofit 사업을 영위함. - 매출구성은 200mm 장비 44.9%, 300mm 장비 24.8%, 무인자동화시스템(제품) 28.24%, FA 0.21%, 무인자동화시스템 0.17%로 이루어져 있음.
원익IPS	- PECVD, ALD, Metal ALD, CVD, ZrO 증착 장비	- 인적분할로 설립된 신설회사로 2016년 5월 재상장, 분할 전 회사인 원익홀딩스가 영위하던 사업 중 반도체, Display 및 Solar 장비의 제조사업부문을 담당. - 2019년 2월 원익테라세미콘 합병으로 국내 대형 장비 기업으로 도약. - 매출구성은 제품(반도체/Display/Solar Cell 제조 장비) 93.7%, 기타(장비 및 장치 유지보수에 필요한 부품, 기술용역 등) 6.3%로 이루어져 있음.
AP시스템	- Pazma Sputter System	- 동사의 주요사업은 장비 연구개발 및 제조 사업으로, AMOLED/LCD 등 디스플레이장비, 반도체장비, 레이저응용장비 사업 등을 영위하고 있음. - 동사는 다양한 AMOLED용 공정장비를 개발하여 양산용 공정장비를 공급하고 있음. - 동사에서 개발하여 공급하고 있는 ELA, LLO, Encapsulation 장비는 삼성디스플레이(SDC)사뿐만 아니라 중국을 포함한 다수의 해외 디스플레이 패널 제조사로 공급영역을 확대하고 있음.

증착 공정 재료 관련 기업

다음은 반도체 증착 공정에서 사용하는 재료 관련 사업을 하고 있는 국내 기업들입니다.

 

기업명	관련 제품	기업 개요
동진쎄미켐	- 증착용 프리커서(Precursors), BARC, SOC Hardmask	- 1973년 법인설립되어 반도체 및 TFT-LCD 의 노광공정에 사용되는 Photoresist 관련 전자재료사업과 산업용 기초소재인 발포제사업을 영위함. - 반도체 및 평판디스플레이용 감광액과 박리액, 세척액, 식각액 및 태양전지용 전극Paste 등 전자재료를 제조업체에 납품함. - 동사를 포함하여 3개의 국내 계열회사가 있으며, 주요 매출처는 삼성전자와 하이닉스, 엘지디스플레이와 삼성디스플레이 등임.
엠케이전자	-  EVM, Sputtering Target	- 1982년 12월 16일에 주식회사 미경사로 설립됨. 1997년 8월 8일자로 상호를 엠케이전자주식회사로 변경하였음. - 사업 부문 별로는 Bonding Wire, Solder Ball 등의 반도체 소재 사업과 원료재생사업, Solder Paste 등의 반도체 제품사업, Tape & Film, 2차 전지 등의 신소재 사업을 영위함. - 1997년 11월 10일자로 한국거래소가 개설한 코스닥 시장에 주식을 상장함.
네패스	- Organic Insulator, Cu Electroplating	- 동사는 반도체 및 전자관련 부품, 전자재료 및 화학제품 제조, 판매를 영위할 목적으로 1990년 12월 27일에 설립된 이후, 1999년 12월 14일 코스닥시장에 상장됨. - 동사는 반도체 및 전자관련 부품, 재료 및 화학제품 제조, 판매업을 함. - 동사의 사업분야는 시스템 반도체 첨단 공정(WLP, FOWLP/PLP) 서비스가 주력인 반도체사업과 전자재료사업으로 구분됨.
SK머티리얼즈	- 전구체, 증착용 가스	- 동사는 1982년 11월에 대백물산 주식회사로 설립되어 1998년 상호를 대백신소재로 변경하였고, 1999년 12월 코스닥시장에 상장된 후 세 차례의 상호 변경 후 SK머티리얼즈가 됨. - 동사는 반도체, 디스플레이, 태양광 전지 제조 공정에 사용하는 특수가스(NF3, WF6, SiH4 등)의 제조, 판매를 주요 사업으로 하고 있음. - 주요종속회사인 SK에어가스(주)는 산업용, 의료용 가스 등의 제조, 판매하고있음.
디엔에프	- Barrier Metal, Electrode Material, Gap Fill Material 등 - High-k Capacitor 유전막 물질 - High-k Metal Gate 절연막 물질 등 - Low-k, CVD/ALD용 전구체, Low Temp. SiO2/SiN 등 - Etch Hard Mask Film, DPT Material, PRAM GST용 Material 등	- 동사는 2001년 1월에 설립되어 2007년 11월 코스닥 시장에 상장된 반도체 박막 재료 부분을 주요 사업으로 영위함. - 미세패턴 구현을 위한 패터닝용 희생막 재료인 DPT와 QPT 재료를 비롯한 Capacitor 유전막 및 Metal Gate 절연막으로 사용되는 High-K 재료 등을 주로 생산함. - 매출은 반도체 전자재료가 77.57%, 광통신 소자 및 재료가 20.99%, 기타화학재료 1.44%로 구성됨
후성	- WF6	- 동사는 2006년 11월 23일에 설립되었으며, 2006년 12월 22일 한국거래소 유가증권시장에 상장됨. - 동사는 냉매가스, 반도체용 특수가스, 2차전지 전해질 소재 'LiPF6' 를 국내에서 유일하게 전문적으로 제조, 판매하는 업체이며, 국내 및 해외 법인을 통해 해당 사업을 영위함. - 동사는 '후성폴란드유한회사'를 신규연결 하여 총 4개의 연결대상 종속회사를 가지고 있음. 동사는 기업집단 '후성그룹'에 속해 있는 기업임.
원익머트리얼즈	- CVD 공정용 특수가스	- 2006년 12월 1일을 기준 원익홀딩스의 특수가스사업부문을 물적분할 설립함. - 지배대상기업은 반도체용 특수가스, 일반산업용 가스 및 전구체(프리커서)의 충전, 제조, 정제 및 판매 등을 영위하고 있음. - 동사가 영위하는 전자재료용 특수가스의 수요분야는 삼성전자 및 SK하이닉스 등의 종합반도체 회사를 중심으로, 삼성디스플레이, 동우화인켐 등 디스플레이 및 LED 제조회사로 분류할 수 있음.
램테크놀러지	- SiO2 - Cu Make Up Solution	- 동사는 2001년 10월에 설립되어, 반도체용 식각액, 박리액 및 기타 IT 분야 화학소재 등 전방 산업별 핵심 공정 중 사용되는 프로세스 케미컬 제조사업을 주력으로 하고 있음. - 반도체를 시작으로 디스플레이, LCD, OLED, 2차전지, 태양전지 분야 화학 약품 공급으로 사업을 확장해 왔으며, SK하이닉스, 삼성SDI, 매그나칩, ELK 등 고객사에 공급함. - 매출구성은 식각액 40%, HYCL폼이 21%로 이루어져 있음.
메카로	- 전구체(유전막, 전극, 저온 Oxide, a-Carbon)	- 동사는 2000년 10월 설립되어, 반도체 제조 공정의 원재료인 전구체와 반도체 장비 내에서 웨이퍼를 흡착하고 가열해주는 히터블럭을 주력으로 생산함. - 탄화규소 및 질화알루미늄 등의 세라믹 소재를 이용한 반도체, LCD, LED 부품 및 반도체 LCD 공정용 기화기 및 태양전지 제조 기술 개발 등을 신규사업으로 영위함. - 매출구성은 전구체 47.72%, 히터블록 47.42%, 제품 기타 2.77%, 상품 2.08%로 이루어져 있음.
레이크머티리얼즈	- 각종 증착용 전구체	- 동사는 2010년 설립하였으며, 2020년 SPAC 합병을 통해 코스닥에 상장하였음. LED, Solar, 메탈로센촉매, 디스플레이, 반도체용 초고순도 소재를 개발 공급하는 유기금속화합물 전문회사임. - LED, 반도체, 디스플레이, Solar소재 및 석유화학 촉매로 이어지는 사업 포트폴리오를 구축하고 있음. - 자체 연구 개발을 통해 LED, 메탈로센촉매, Solar, 반도체 등의 소재로 사용되는 초고순도 유기금속 화합물 양산.
덕산테코피아	- 각종 증착용 전구체	- 동사는 OLED의 핵심구성요소인 유기재료와 반도체 전자재료 등의 화학제품을 전문적으로 생산하는 사업을 영위. - HCDS 증착소재를 직접 합성부터 초고순도 정제까지 일관 제조하여 고객사에 공급하며, 해외원료에 의존하는 타사 대비 비교 우위를 점함. - 폴리이미드 밸류체인의 하단에 속하는 초기 모노머를 합성할 수 있는 기술력을 보유한 전문기업으로, 향후 투명PI관련 사업은 동사의 새로운 성장 동력이 될 것으로 예상.
솔브레인	- 각종 증착용 전구체	- 동사는 인적분할로 설립된 신설회사로 2020년 8월 재상장하였으며 분할 전 회사인 솔브레인홀딩스의 사업 중 반도체 및 전자 관련 화학재료 제조 및 판매 사업부문을 영위하고 있음. - 삼성전자, SK하이닉스, LG디스플레이 등 국내 반도체 및 디스플레이 제조사에 공정용 화학 재료 등을 안정적으로 공급. - 해외시장 진출을 위하여 중국에 반도체 공정재료 생산 및 판매를 위한 현지법인인 솔브레인(시안)전자재료유한공사 설립함.
오션브릿지	- TiCl4, BDEAS, BTBAS, DIPAS, CpZr(NMe2)3,TMA, TEMAHf, Si2H6, GeH4	- 2012년 3월에 설립되어, 반도체 공정용 화학재료와 반도체 FAB 설비 장비 생산 및 반도체 제조 공정용 화학제품을 생산하며 공급함. - 주력 제품으로는 HCDS(절연막)와 TiCl4(축전지, 전극물질) 등 케미칼 소재와 특수가스 (Si2H6, CF4, HBr, GeH4) 보유하고 있으며, 주 고객사는 SK하이닉스임. - 반도체 증착공정에 적용되는 HCDS와 Low-K 프리커서, 특수가스인 디실란(Si2H6)을 제조함.

증착 공정 부품 관련 기업

다음은 반도체 증착 공정에서 사용하는 부품 관련 사업을 하고 있는 국내 기업들입니다.

 

기업명	관련 제품	기업 개요
원익QnC	- Quartz : Tube류, Pedestal류, SWP - Ceramic : AIN Nozzle, SiC Susceptor, Collar Ring, Cover Ring, Moer Ring, SiC DC Plug, BN Composite Heater, Robot Arm 등	- 반도체 및 디스플레이 제조에 사용되는 석영제품(쿼츠)와 산업용 세라믹을 제조하는 업체로 2003년 11월 원익으로부터 기업분할로 설립됨. - 반도체용 석영유리(QUARTZ WARE)는 반도체 제조공정 중 산화, 식각, 이온주입, 화학증착공정에서 Wafer를 불순물로 부터 보호하거나 이송하는 용기로 사용됨. - 삼성전자, 하이닉스반도체, 페어차일드코리아, 실트론, 매그나칩반도체, 동부하이텍 등과 계약 체결, 수주물량을 받고 있음.
월덱스	- SiC : Susceptor - ITO/Slicon Sputtering Target	- 동사는 반도체 에칭 공정에 사용되는 반도체용 실리콘 전극과 링을 제조 판매 전문회사로 성장하며 이를 바탕으로 파인세라믹부분으로 사업 범위를 확대함. - 종속회사인 WCQ를 적극 활용하여 고객과 밀접한 관계를 통해 직납 비중 규모 확대와 해외 시장 개척을 통해 국내 뿐 아니라 수출 비중을 확대하고 있음. - 매출비중은 실리콘 57.1%, 쿼츠 외 42.9%로 실리콘 비중 소폭 증가하는 추세.
하나머티리얼즈	- AIN(Aluminum Nitride), Al2O3(Aluminum Oxide)	- 동사는 2007년 설립되어, 실리콘 및 실리콘카바이드(SiC) 소재의 일렉트로드와 링 제조 및 판매를 주요 사업으로 영위함. - 동사의 주요 제품은 반도체 제조공정 중 에칭공정에 사용되는 핵심부품인 실리콘 소재의 일렉트로드와 링 등으로 반도체 칩 생산의 수율과 제품의 성능을 결정하는 고부가가치 부품임. - 실리콘부품 위주의 사업구조에서 사업 및 제품 포트폴리오를 다각화하고자 실리콘카바이드사업(SiC)을 추진하고 있음.
메카로	- Heater Block, Susceptor, Shower Head	- 동사는 2000년 10월 설립되어, 반도체 제조 공정의 원재료인 전구체와 반도체 장비 내에서 웨이퍼를 흡착하고 가열해주는 히터블럭을 주력으로 생산함. - 탄화규소 및 질화알루미늄 등의 세라믹 소재를 이용한 반도체, LCD, LED 부품 및 반도체 LCD 공정용 기화기 및 태양전지 제조 기술 개발 등을 신규사업으로 영위함. - 매출구성은 전구체 47.72%, 히터블록 47.42%, 제품 기타 2.77%, 상품 2.08%로 이루어져 있음.
케이엔제이	- SiC Focus Ring	- 동사는 2005년 회사 설립 이후 디스플레이 제조용 장비인 Edge Grinder(엣지그라인더)와 검사장비를 개발 생산해 왔음. - 2010년 신규사업으로 CVD-SiC(탄화규소) 제품군 분야에 진출 후 LED제조용 SiC 코팅제품 및 반도체 웨이퍼 에칭공정용 소모품인 SiC Focus Ring 등을 생산/공급해옴. - 동사의 제품은 국내외 디스플레이 메이커를 주 고객으로 하며 최종 소비재인 TV, 노트북, 스마트폰 등에 적용이 가능함.
티씨케이	- SiC Ring, Dummy Wafer, Shower Head - Si/SiC Epi Susceptor	- 동사는 1996년 8월고순도 흑연제품의 제조, 수입 및 판매를 목적으로 '한국 도카이카본'으로 설립됨. - 동사는 공장 및 기업부설연구소를 가지고 있으며, 2003년 코스닥시장에 주식을 상장함. - 주력제품은 국내 최초로 가공공정, 고순화공정, CVD SiC-Coating공정의 일괄생산체제로 제조되고 있는 반도체 및 태양전지 Grower장비부품인 고순도 Graphite임.